製品情報/ PRODUCTS /多機能接触角、表面自由エネルギー、および表面張力測定器 FLATSCAN

DESCRIPTION

製品の特徴
高い測定精度
非接触式測定
2Dまたは3Dの選択可能
ほぼ任意の大きさの測定領域 X線反射鏡（マルチレイヤーミラー）やシリコンウェハなどのような曲率の高い表面に適用可能 より大きな曲率の測定が可能

測定原理
試料表面に垂直に入射した光は、表面の輪郭によって反射角が異なる。FLATSCANは、測定ポイント間の反射角の変化に基づき、ソフトウェアを使用して試料表面の輪郭を再計算および構築し、自動的に高精度な測定を実現します。 
FLATSCAN適用於任意種類反射表面的，平整度、波紋度和彎曲（弓/翹曲）的非接觸式測量，如矽晶圓、鏡面、X射線反射鏡（多層膜反射鏡/Goebel鏡）、金屬表面、拋光的聚合物等等。

高精度、任意な測定面積 FLATSCANは非常に高い測定精度を提供し、測定システムの解像度は0.1アーク秒、測定精度は1アーク秒です。200mmの測定における再現性は100nm以内であり、メーカーや品質管理部門の要求に完全に応えています。
さらに、採用されている測定原理には、測定面積の影響を受けないという特徴があります。したがって、標準的な測定面の直径（200mm）にほぼ任意の拡張が可能であり、測定精度に影響を与えません。
より広範な測定範囲、より大きな作業距離 測定範囲とは、1回のスキャンで測定できる最大アーチ高さ（または最小曲率半径）を指します。FLATSCANは非常に広範な測定範囲を持ち、同様の測定製品（ストライプレーザ干渉計など）では達成できない範囲です。
 
FLATSCANは、平面鏡だけでなく、ウェハー、X線反射鏡、ポリッシュされたプラスチック製品など、任意の種類の曲率の大きな反射面に対しても優れた測定効果を持っています。また、採用している光学測定原理は作業高さに依存しません。そのため、ユーザーの異なる要求に対応するために、より長い作業距離の装置を開発しました。

2Dまたは3D測定の自由な選択
機器タイプに応じて、ユーザーはシングルラインスキャン（2D）またはフル360度の3D測定を選択することができます。操作ソフトウェアには、3Dグラフ、プロファイルグラフ、測定記録など、測定結果の視覚化とデジタル評価に使用するさまざまな機能が提供されています。
薄膜応力の測定
薄膜、単層または多層のコーティングに対する応力は、ソフトウェアが主にFowkesの理論に基づいて、コーティング前後の基板曲率半径の変化を検出して計算します。例えば、半導体産業や他の応用分野では、反射面が加工処理された後（コーティングや除去など）、FLATSCANを使用してウェハーの薄膜応力を迅速に測定することができます。