代理產品/ BRANDS /
四點奈米探針四點奈米探針
特色與效益 規格XY 範圍
粗定位
±3 mm in ±150 nm steps
細定位
≤1 μm in 10 nm* steps
Z 範圍
粗定位
±1.5mm in 150 nm steps
細定位
≤1 μm in 10 nm* steps
樣品尺寸
10mm × 10mm × 1mm
重量
≤1000g
DESCRIPTION
特點:
此系統安裝於SEM平台,在次微米區域內量測四點電性
四組獨立探針都可3D控制
特點:
此系統安裝於SEM平台,在次微米區域內量測四點電性
四組獨立探針都可3D控制