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二氧化矽奈米懸浮液二氧化矽奈米懸浮液
特色與效益 NanoSilica™ 微粒子標準溶液是由MSP Corporation製作的高度均勻尺寸SiO2微粒子濃縮水溶液，微粒子尺寸從18nm到200nm都可選擇，是市面上最理想、高品質的校正標準，適用於最新一代的晶圓表面污染/缺陷檢查系統及光罩檢查系統。最先進的半導體檢查技術已經發展到小於30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圓表面污染/缺陷檢查系統及光罩檢查系統的校正，但新一代的檢查系統使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢查小於20nm的污染或缺陷，當UV光重覆打在PSL球形化粒子上，將影響到PSL球形化粒子的品質; 由於SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下擁有穩定的品質，因此SiO2微粒子是最佳的替代產品。
DESCRIPTION
產品敘述
NanoSilica™ 微粒子標準溶液是由MSP Corporation製作的高度均勻尺寸SiO2微粒子濃縮水溶液，微粒子尺寸從18nm到200nm都可選擇，是市面上最理想、高品質的校正標準，適用於最新一代的晶圓表面污染/缺陷檢查系統及光罩檢查系統。
最先進的半導體檢查技術已經發展到小於30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圓表面污染/缺陷檢查系統及光罩檢查系統的校正，但新一代的檢查系統使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢查小於20nm的污染或缺陷，當UV光重覆打在PSL球形化粒子上，將影響到PSL球形化粒子的品質; 由於SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下擁有穩定的品質，因此SiO2微粒子是最佳的替代產品。
NanoSilica™ 微粒子標準溶液是使用有專利的SiO2合成技術，可以做到如PSL球形化粒子一樣的尺寸分布，從目前最小的微粒子尺寸來看，NanoSilica™ 微粒子標準溶液是尺寸最均勻，適合做尺寸大小峰值的量測的工具。
NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子標準溶液是MSP Corporation透過National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到標準單位的產品，加上ISO 9000與SEMI的認證，讓良率提升及表面檢查和缺陷評估有所依據。
NanoSilica™ 微粒子標準溶液使用15-mL滴定，讓使用者操作更方便。每一瓶溶液的標籤皆標示產品編號、生產編號、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高寬及有效期限，而且提供NIST-traceable證明書與Material Safety Data Sheet (MSDS)說明書。
產品優勢
- 尺寸大小分布均勻
- NIST traceability 的尺寸大小
- DUV及EUV的照射下擁有穩定的品質
- 高濃縮度微粒子懸浮溶液
- 易於微粒子撒粒系統、晶圓表面污染/缺陷檢查系統或各類分析儀器偵測與量測尺寸峰值
- 可避免平均尺寸與尺寸峰值的差異性
- 適合氣膠產生設備使用
- 提供耐久校正標準給先進的檢測設備使用
- 省錢而且耗用量少
