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가변 온도 - 초고진공 스캐닝 터널 현미경
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헬륨 삼 저온 - 초전도 자석 초고진공 주사 터널 현미경
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저온 - 초고진공 주사 터널 현미경
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실온 - 초고진공 주사 터널 현미경
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주사 터널 현미경
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