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다기능 접촉각, 표면 자유에너지 및 표면 장력 측정기 FLATSCAN다기능 접촉각, 표면 자유에너지 및 표면 장력 측정기 FLATSCAN
Features and benefits 비접촉 자동 2D 또는 3D 측정으로 모든 반사 표면의 굴곡, 휨, 표면 프로필 및 평평도를 측정하며, 소프트웨어를 통해 막 응력을 계산합니다.
DESCRIPTION
제품 특징
- 높은 측정 정확도
- 비접촉 측정
- 2D 또는 3D 측정 선택 가능
- 거의 모든 크기의 측정 가능한 영역
- X-선 반사 거울 (다층막 반사 거울) 및 실리콘 웨이퍼와 같은 고휘도 표면에 적용 가능
- 더 높은 굴곡도 측정 가능
측정 원리
- 샘플 표면과 수직인 입사광은 표면 반사 후 반사각을 형성하며, 표면 프로파일의 변화에 따라 변화합니다.
- FLATSCAN은 측정 지점 간 반사각의 변화를 기반으로 소프트웨어를 통해 샘플 표면 프로파일을 재계산하고 구성하여 자동으로 고정밀 측정을 수행합니다.
FLATSCAN은 실리콘 웨이퍼, 거울, X-선 반사 거울 (다층막 반사 거울/Goebel 거울), 금속 표면, 광택 처리된 고분자 등과 같은 어떠한 종류의 반사 표면에도 적용 가능한 비접촉 방식으로 평탄도, 주름 형태 및 굽힘(볼록/오목)을 측정합니다.
고정밀도와 임의의 측정 영역 FLATSCAN은 매우 높은 측정 정확도를 제공하며, 측정 시스템의 해상도는 0.1arcsec이며 측정 정확도는 1arcsec입니다. 200mm 측정의 경우, 반복성은 100nm 이내로 제조업체 및 품질 검사 부서의 요구 사항을 완전히 충족합니다.
또한, 사용된 측정 원리는 측정 영역에 대한 무관성을 갖고 있습니다. 따라서, 표준 측정 영역 직경 (200mm)에 대해서는 거의 제한이 없으며, 측정 정확도에 아무런 영향을 미치지 않습니다.
더 넓은 측정 범위, 더 긴 작업 거리 측정 범위는 한 번의 스캔으로 측정할 수 있는 최대 화살표 높이 (또는 최소 곡률 반지름)를 의미합니다. FLATSCAN은 매우 큰 측정 범위를 가지고 있으며, 이는 동급의 측정 장비 (예: 스트라이프 레이저 간섭계)가 달성할 수 없는 기능입니다.
FLATSCAN은 평면 거울 뿐만 아니라 웨이퍼, X-선 반사 거울, 폴리싱 처리된 플라스틱 제품 등과 같은 고정밀한 곡면의 반사 표면에 대한 다양한 유형의 측정에 탁월한 성능을 발휘합니다. 또한, 광학 측정 원리는 작업 높이와 관련이 없습니다. 따라서, 사용자의 다양한 요구에 대응하기 위해 더 긴 작업 거리의 장비를 개발하였습니다. 2D 또는 3D 측정 선택 가능 장비 유형에 따라 사용자는 단일 라인 스캔 (2D) 또는 전방향 3D 측정을 선택할 수 있습니다. 운영 소프트웨어는 3차원 그래프, 프로파일 그래프, 측정 기록 등과 같은 다양한 기능을 제공하여 측정 결과의 시각화 및 디지털 평가를 지원합니다. 박막 응력 측정 박막, 단일 또는 다중 층 코팅의 응력은 소프트웨어가 Fowkes 이론에 기반하여 코팅 전후의 기판 곡률 반경 변화를 측정하여 계산합니다. 예를 들어, 반사 표면이 가공 처리된 후 (코팅 또는 제거 후) 반도체 산업이나 다른 응용 분야에서 작업자는 FLATSCAN을 사용하여 웨이퍼 박막 응력을 신속하게 측정할 수 있습니다.
