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물리 증착 시스템 PVD물리 증착 시스템 PVD
Features and benefits 전형적인 신청:고품질 Al(Si/Cu/Ti 포함)
확산 장벽 TiN, TiW(반응성 스퍼터링)
저항막(NiCr, TaN)
귀금속: Au, Pt
Contact window：sales@scientek-co.com
DESCRIPTION
제품 설명
물리적 기상 증착（PVD）
좋은 단계 범위
고품질 Al(Si/CuTi 포함), TiN, TiW를 위한 표준 방법
최대 4 x 200mm 또는 8 x 75mm 음극
기판이 스피너에 놓입니다.
기판 홀더는 수냉/가열 가능(최대 400oC)
사전 에칭 및 RF 바이어스
매개변수: 기류, 압력, RF 전력
