제품 정보/ PRODUCTS / 원자 증착 기술 기기
원자 증착 기술 기기AT-410
specification：
제품 설명
수평 및 수직 흐름의 통합, 높은 코팅 균일성
_ 소형 및 저비용
_ 샘플 커버리지를 향상시키는 정적 기능
_ 터치 인터페이스 및 자동화 프로그램
_ 실시간 모니터링 프로세스
_ 내장된 레시피와 사용자가 만든 가장 널리 사용되는 재료
•3 유기 금속 소스
•2 산화제/환원제 공급원
•내장 레시피, Al2O3, Pt,
Ru, HfO2, TiO2, ZrO2, ZnO,Al:ZnO
Contact window： sales@scientek-co.com
DESCRIPTION
제품 설명수평 및 수직 흐름의 통합, 높은 코팅 균일성
_ 소형 및 저비용
_ 샘플 커버리지를 향상시키는 정적 기능
_ 터치 인터페이스 및 자동화 프로그램
_ 실시간 모니터링 프로세스
_ 내장된 레시피와 사용자가 만든 가장 널리 사용되는 재료
•3 유기 금속 소스
•2 산화제/환원제 공급원
•내장 레시피, Al2O3, Pt,
Ru, HfO2, TiO2, ZrO2, ZnO,Al:ZnO
