產品資訊/ PRODUCTS /多功能接觸角,表面自由能和表面張力測量儀FLATSCAN

DESCRIPTION

產品特性
高測量精度
非接觸式測量
可選擇2D或3D測量
近似任意大小的可測量面積
適用于高彎曲表面，如X射線反射鏡（多層膜反射鏡）、矽晶圓等
通過可以檢測更高的彎曲度

測量原理
垂直於樣品表面的入射光，經過表面反射後形成的反射角，會因表面輪廓的不同而產生變化。FLATSCAN正是依據測量點之間反射角的變化，通過軟體重新計算並構建了樣品表面輪廓，實現了全自動高精度的測量。
 
FLATSCAN適用於任意種類反射表面的，平整度、波紋度和彎曲（弓/翹曲）的非接觸式測量，如矽晶圓、鏡面、X射線反射鏡（多層膜反射鏡/Goebel鏡）、金屬表面、拋光的聚合物等等。
高精度，任意測量面積
FLATSCAN能夠提供很高的測量精度，其測量系統的解析度為0.1arcsec，測量精度1arcsec，對於200mm測量的可重複性在100nm以內，完全滿足廠家、質檢部門的需求。
 
另外，採用的測量原理還具備一個特點，即測量面積的無關性。因此，對於標準測量面直徑（200mm），幾乎可以任意擴展，而且對測量精度毫無影響。
更大的測量範圍，更高的工作距離
測量範圍是指一次掃描所能測量的最大箭頭高度（或者最小曲率半徑）。FLATSCAN擁有極大的測量範圍，這是同類測量產品（如條紋鐳射干涉儀）無法達到的。
 
FLATSCAN不僅可以用來檢測平面鏡，對於較大曲率的反射平面，如晶圓、X射線反射鏡、拋光過的塑膠製品等任意種類的反射表面都有很好的測量效果。而且，所採用光學測量原理與工作高度無關。因此，我們制定出更高工作距離的儀器，以適應使用者的不同需求。
自由選擇2D或3D測量
根據設備類型，使用者可以選擇單行掃描（2D）或者全方位3D測量。操作軟體能提供多種功能，用於測量結果的圖形和數位評估，如三維圖、剖面圖、測量記錄等等。
薄膜應力
對於薄膜、單層或者多層鍍膜的應力，軟體主要依據Fowkes的理論，通過檢測鍍膜前後，基板曲率半徑的變化量計算得到。比如在半導體行業或者其他應用領域，當反射表面被加工處理後（鍍膜或者去鍍膜），操作人員能夠利用FLATSCAN快速地對晶圓薄膜應力進行檢測。