產品資訊/ PRODUCTS /非接觸式-片電阻和膜厚測量儀EddyCus® TF Inline系列

特性材料/耗材
二氧化矽奈米懸浮 AFM tips GRAPHENE Tekna 球形化粉末/奈米粉末
製程設備
原子沉積系統Anric 電子顯微鏡前處理系統 Meiwafosis 電漿增強化學氣相沉積系統TEOS多片機 感應耦合電漿蝕刻系統多片機 電漿增強化學氣相沉積系統(PECVD) 電漿增強化學氣相沉積系統PP1000 PECVD 物理氣相沉積系統PVD 原子層沉積系統FlexAL ALD 電子顯微鏡高解析度Osmium鍍膜機
量測/分析儀器
OEG 光學量測 SURAGUS 非接觸式-片電阻和膜厚測量儀 SITA 潔淨度 / 表面張力 / 泡沫特性分析 VINE 膜厚量測 TEMIC 桌上型電子顯微鏡(固態/液態) XPS/ESCA X光光電子能譜儀/化學分析電子能譜 Precision 細胞/動物用X-ray櫃式照射儀 Unisoku IMAGE SPM 表面形貌分析 STM 表面形貌分析 SEM表面形貌分析 Nano-indenter 材料應力應變分析
廠務氣體偵測器
CM4紙帶式氣體偵測器 Vertex紙帶式氣體偵測器 Vertex-M紙帶式氣體偵測器 MIDAS電化學式氣體偵測器 MIDAS-M電化學式氣體偵測器 Satellite XT 電化學式氣體偵測器 ACM 150 FT-IR 氣體監控系統 Sensepoint XCD防爆型氣體偵測器 RAEGuard 2 PID 揮發性有機氣體偵測器 SPM Flex紙帶式氣體偵測器 MIDAS可攜式氣體偵測器 BW Clip4 多氣體可攜式偵測器 BW Ultra 多氣體可攜式偵測器 BW Solo可攜式偵測器 Riken電化學偵測器 Vertex Edge紙帶式氣體偵測器 紙帶式氣體偵測器 電化學氣體偵測器 FT-IR 集中式氣體監控系統 防爆型氣體偵測器 可攜式氣體偵測器
製成/生產設備
OIPT CVI TANKA 奈米與球型化材料製備設備 SURAGUS 非接觸式-片電阻和膜厚測量儀 晶圓劈裂機SELA
半導體
微粒子撒粒系統 微粒子撒粒服務 SELA X光光電子能譜儀/化學分析電子能譜 HoneyWell
學術領域
極低溫系統 Bluefors 極低溫系統 CIA 掃描穿隧顯微鏡 RHK 掃描穿隧顯微鏡 Unisoku 高溫設備 CVI X光光電子能譜儀/化學分析電子能譜 量子/低溫電子零件 Qdevil 量子研究/ Quantum research
氣體偵測系統及廠務監控整合

非接觸式-片電阻和膜厚測量儀EddyCus® TF Inline系列EddyCus® TF Inline系列

規格：
EddyCus® TF Inline系列是特別設計，為在roll to roll coating,導電薄膜, 金屬薄膜的測量系統，為單點(多點)非接觸式的方法，即時測量薄厚和片電阻值。這系列的儀器也適用於即時測量導電材料的厚度，例如TCO, 金屬箔片、金屬片等。

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DESCRIPTION

產品敘述
EddyCus® TF Inline系列是特別設計，為在roll to roll coating,導電薄膜, 金屬薄膜的測量系統，為單點(多點)非接觸式的方法，即時測量薄厚和片電阻值。這系列的儀器也適用於即時測量導電材料的厚度，例如TCO, 金屬箔片、金屬片等。


Inline Sheet Resistance Measurement 

+ Contact-free
+ Real-time
+ High sample rate (1 – 300 samples per second/lane and more)
+ Large measurement gap (1 – 60 mm gap)
+ 1 – 99 measurement lanes
+ In-vacuo and ex-vacuo
+ Compact hardware