System 100-Thiết bị plazma và lắng đọng

System 100-Thiết bị plazma và lắng đọng

System 133-300mm Thiết bị etsa và lắng đọng lớn

System 133-300mm Thiết bị etsa và lắng đọng lớn

Hệ thống tăng cường hóa học bằng điện plazma (PECVD)

Hệ thống tăng cường hóa học bằng điện plazma (PECVD)

Hệ thống tăng cường lớp phủ hóa học bằng plazma PP1000 PECVD

Hệ thống tăng cường lớp phủ hóa học bằng plazma PP1000 PECVD

Hệ thống kết tủa vật lý PVD

Hệ thống kết tủa vật lý PVD

Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử FlexAL ALD

Hệ thống lắng đọng lớp nguyên tử FlexAL ALD