Thông tin sản phẩm/ PRODUCTS / FLATSCAN - Thiết bị đo góc tiếp xúc, năng lượng bề mặt và căng bề mặt đa chức năng
FLATSCAN - Thiết bị đo góc tiếp xúc, năng lượng bề mặt và căng bề mặt đa chức năng FLATSCAN - Thiết bị đo góc tiếp xúc, năng lượng bề mặt và căng bề mặt đa chức năng
specification：
Thiết bị đo tự động 2D hoặc 3D không tiếp xúc cho mọi bề mặt phản xạ, bao gồm wafer, kính, bề mặt kim loại vv., đo độ cong, uốn cong, hình dạng bề mặt và độ phẳng, và tính toán căng màng qua phần mềm.
DESCRIPTION
Đặc điểm sản phẩm:
- Độ chính xác đo cao
- Đo không tiếp xúc
- Lựa chọn đo 2D hoặc 3D
- Khả năng đo diện tích gần như bất kỳ kích thước
- Phù hợp với các bề mặt cong cao như gương phản xạ tia X (gương phản xạ đa lớp), wafer silicon vv.
- Có khả năng đo cong cao hơn.
Nguyên lý đo lường: Ánh sáng chiếu vuông góc lên bề mặt mẫu, sau khi phản xạ từ bề mặt tạo thành góc phản xạ, sẽ thay đổi tùy theo đặc điểm bề mặt. FLATSCAN dựa trên sự thay đổi góc phản xạ giữa các điểm đo để tính toán lại và xây dựng hình dạng bề mặt mẫu thông qua phần mềm, đạt được độ chính xác cao và đo tự động.
FLATSCAN phù hợp cho việc đo đạc không tiếp xúc độ bằng, độ nhấp nháy và độ uốn cong (gợn cong) trên mọi loại bề mặt phản xạ như wafer silicon, gương phản xạ, gương phản xạ đa lớp X-ray (gương Goebel), bề mặt kim loại, polymer mài bóng và nhiều loại khác.
Độ chính xác cao, diện tích đo tùy ý FLATSCAN cung cấp độ chính xác đo cao, với độ phân giải của hệ thống đo là 0.1 arcsec, độ chính xác đo là 1 arcsec, độ lặp lại đo trong khoảng 100 nm cho việc đo 200mm, hoàn toàn đáp ứng nhu cầu của nhà sản xuất và bộ phận kiểm định chất lượng.
Ngoài ra, nguyên lý đo lường được sử dụng còn có một đặc điểm, đó là không phụ thuộc vào diện tích đo. Do đó, đối với đường kính diện tích đo tiêu chuẩn (200mm), nó có thể mở rộng gần như bất kỳ và không ảnh hưởng đến độ chính xác đo.
Phạm vi đo lường lớn hơn, khoảng cách làm việc lớn hơn Phạm vi đo lường được hiểu là chiều cao mũi tên tối đa (hoặc bán kính cong tối thiểu) mà một lần quét có thể đo được. FLATSCAN có phạm vi đo lường rất lớn, điều này là điều mà các sản phẩm đo lường tương tự (như máy đo nhiễu xạ sợi) không thể đạt được.
FLATSCAN không chỉ dùng để kiểm tra gương phẳng, mà còn có hiệu quả đo đạc tốt cho các bề mặt phản xạ có độ cong lớn hơn, chẳng hạn như wafer, gương phản xạ tia X, sản phẩm nhựa mài bóng vv. Ngoài ra, nguyên lý đo quang học được sử dụng không phụ thuộc vào khoảng cách làm việc. Do đó, chúng tôi đã phát triển các thiết bị có khoảng cách làm việc lớn hơn để phù hợp với các nhu cầu khác nhau của người dùng.
Tùy chọn đo 2D hoặc 3D Người dùng có thể lựa chọn quét theo dòng (2D) hoặc đo toàn diện 3D tùy theo loại thiết bị. Phần mềm điều khiển cung cấp nhiều chức năng, bao gồm đồ họa và đánh giá số lượng kết quả đo, chẳng hạn như biểu đồ 3D, biểu đồ mặt cắt, ghi chú đo và nhiều hơn nữa.
Căng màng Đối với căng màng của màng mỏng, màng đơn hoặc màng phủ nhiều lớp, phần mềm chủ yếu dựa trên lý thuyết Fowkes để tính toán sự thay đổi bán kính cong của mẫu dựa trên sự khác biệt trước và sau quá trình phủ màng. Ví dụ, trong ngành công nghệ bán dẫn hoặc các lĩnh vực ứng dụng khác, khi bề mặt phản xạ được xử lý (phủ màng hoặc tẩy màng), người điều khiển có thể sử dụng FLATSCAN để nhanh chóng kiểm tra căng màng trên wafer.
