Thông tin sản phẩm/ PRODUCTS /Hệ thống treo NanoSilica
Hệ thống treo NanoSilicaHệ thống treo NanoSilica
specification：
Ưu điểm của sản phẩm:
- Phân bố kích thước đồng đều
- Kích thước có khả năng tra cứu NIST
- Chất lượng ổn định dưới tác động của DUV và EUV
- Dung dịch phân tán hạt vi lượng có nồng độ cao
Lợi ích của sản phẩm:
- Dễ dàng phát hiện và đo kích thước đỉnh trong hệ thống phân tán hạt, hệ thống kiểm tra ô nhiễm/defect trên bề mặt wafer hoặc các thiết bị phân tích khác.
- Tránh sự khác biệt giữa kích thước trung bình và đỉnh kích thước.
- Phù hợp với thiết bị tạo hạt aero.
- Cung cấp tiêu chuẩn hiệu chuẩn bền vững cho các thiết bị kiểm tra tiên tiến.
- Tiết kiệm chi phí và tiêu thụ ít.
Contact window： sales@scientek-co.com
DESCRIPTION
NanoSilica™ Microsphere Standard Solution là dung dịch nồng độ cao của hạt SiO2 có kích thước vô cùng đồng nhất, được sản xuất bởi công ty MSP Corporation. Kích thước của hạt SiO2 có thể lựa chọn từ 18nm đến 200nm, đây là tiêu chuẩn hiệu chuẩn lý tưởng và chất lượng cao nhất trên thị trường, phù hợp cho các hệ thống kiểm tra và xác định khuyết tật trên bề mặt wafer và hệ thống kiểm tra mask mới nhất.Công nghệ kiểm tra bán dẫn tiên tiến đã phát triển đến kích thước nhỏ hơn 30nm. Trước đây, việc sử dụng hạt cầu polystyrene latex (PSL) đã đủ để hiệu chuẩn hệ thống kiểm tra và xác định khuyết tật trên bề mặt wafer và hệ thống kiểm tra mask. Tuy nhiên, các hệ thống kiểm tra thế hệ mới yêu cầu sử dụng Deep ultraviolet (DUV) hoặc Extreme ultraviolet (EUV) để kiểm tra các khuyết tật hoặc ô nhiễm nhỏ hơn 20nm. Khi ánh sáng UV tác động lặp lại lên hạt cầu PSL, chất lượng của chúng sẽ bị ảnh hưởng. Do hạt SiO2 có chất lượng ổn định dưới tia X DUV và EUV, hạt SiO2 là sản phẩm thay thế tốt nhất.
NanoSilica™ Microsphere Standard Solution sử dụng công nghệ tổng hợp SiO2 đã được cấp bằng sáng chế, có thể đạt được phân bố kích thước giống như hạt cầu PSL. Hiện nay, NanoSilica™ Microsphere Standard Solution có phân bố kích thước đồng nhất nhất trong các hạt nhỏ nhất, phù hợp cho việc đo kích thước đỉnh.
NanoSilica™ Microsphere Standard Solution được theo dõi theo chuẩn NIST (National Institute of Standards and Technology) bởi MSP Corporation, đồng thời cũng được chứng nhận theo tiêu chuẩn ISO 9000 và SEMI, giúp cải thiện hiệu suất sản xuất và đánh giá khuyết tật và kiểm tra bề mặt được đáng tin cậy.
NanoSilica™ Microsphere Standard Solution được cung cấp dưới dạng 15 mL dung tích, giúp người sử dụng dễ dàng thực hiện. Nhãn của từng chai dung dịch được ghi ký hiệu sản phẩm, ký hiệu sản xuất, kích thước đỉnh hạt, bán kính bán đỉnh và ngày hết hạn sử dụng, đồng thời cũng cung cấp chứng nhận theo chuẩn NIST và tờ dữ liệu an toàn vật liệu (MSDS).
