Thông tin sản phẩm/ PRODUCTS /Bộ đầu dò nano bốn điểm
Bộ đầu dò nano bốn điểmBộ đầu dò nano bốn điểm
specification：
Thông số kỹ thuật:
Phạm vi XY Định vị thô: ±3 mm với bước ±150 nm
Định vị tinh: ≤1 μm với bước 10 nm*
Phạm vi Z
Định vị thô: ±1.5 mm với bước 150 nm
Định vị tinh: ≤1 μm với bước 10 nm*
Kích thước mẫu 10mm × 10mm × 1mm
Trọng lượng ≤1000g
Contact window： sales@scientek-co.com
DESCRIPTION
Đặc điểm:Hệ thống này được lắp đặt trên nền tảng SEM để đo điện trở bốn điểm trong khu vực siêu vi mịn
Bốn bộ đầu kim độc lập có thể điều khiển 3D
