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電漿增強化學氣相沉積系統TEOS多片機
感應耦合電漿蝕刻系統多片機
電漿增強化學氣相沉積系統(PECVD)
電漿增強化學氣相沉積系統PP1000 PECVD
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電子顯微鏡高解析度Osmium鍍膜機
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SURAGUS 非接觸式-片電阻和膜厚測量儀
SITA 潔淨度 / 表面張力 / 泡沫特性分析
VINE 膜厚量測
TEMIC 桌上型電子顯微鏡(固態/液態)
XPS/ESCA X光光電子能譜儀/化學分析電子能譜
Precision 細胞/動物用X-ray櫃式照射儀
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CM4紙帶式氣體偵測器
Vertex紙帶式氣體偵測器
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MIDAS電化學式氣體偵測器
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Satellite XT 電化學式氣體偵測器
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SPM Flex紙帶式氣體偵測器
MIDAS可攜式氣體偵測器
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Vertex Edge紙帶式氣體偵測器
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可攜式氣體偵測器
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TANKA 奈米與球型化材料製備設備
SURAGUS 非接觸式-片電阻和膜厚測量儀
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