產品資訊/ PRODUCTS /

特性材料/耗材
二氧化矽奈米懸浮 AFM tips GRAPHENE Tekna 球形化粉末/奈米粉末
製程設備
原子沉積系統Anric 電子顯微鏡前處理系統 Meiwafosis 電漿增強化學氣相沉積系統TEOS多片機 感應耦合電漿蝕刻系統多片機 電漿增強化學氣相沉積系統(PECVD) 電漿增強化學氣相沉積系統PP1000 PECVD 物理氣相沉積系統PVD 原子層沉積系統FlexAL ALD 電子顯微鏡高解析度Osmium鍍膜機
量測/分析儀器
OEG 光學量測 SURAGUS 非接觸式-片電阻和膜厚測量儀 SITA 潔淨度 / 表面張力 / 泡沫特性分析 VINE 膜厚量測 TEMIC 桌上型電子顯微鏡(固態/液態) XPS/ESCA X光光電子能譜儀/化學分析電子能譜 Precision 細胞/動物用X-ray櫃式照射儀 Unisoku IMAGE SPM 表面形貌分析 STM 表面形貌分析 SEM表面形貌分析 Nano-indenter 材料應力應變分析
廠務氣體偵測器
紙帶式氣體偵測器 電化學氣體偵測器 FT-IR 集中式氣體監控系統 防爆型氣體偵測器 可攜式氣體偵測器
製成/生產設備
OIPT CVI TANKA 奈米與球型化材料製備設備 SURAGUS 非接觸式-片電阻和膜厚測量儀 晶圓劈裂機SELA
半導體
微粒子撒粒系統 微粒子撒粒服務 SELA X光光電子能譜儀/化學分析電子能譜 HoneyWell
學術領域
極低溫系統 Bluefors 極低溫系統 CIA 掃描穿隧顯微鏡 RHK 掃描穿隧顯微鏡 Unisoku 高溫設備 CVI X光光電子能譜儀/化學分析電子能譜 量子/低溫電子零件 Qdevil 量子研究/ Quantum research
氣體偵測系統及廠務監控整合

電漿增強化學氣相沉積系統(PECVD)