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多功能接触角、表面自由能和表面张力测量仪FLATSCAN多功能接触角、表面自由能和表面张力测量仪FLATSCAN
特色與效益 非接触式自动2D或3D测量所有反射表面，如晶圆、玻璃、金属表面等的弯曲度、翘曲、表面轮廓和平面度，并通过软件计算其薄膜应力。
DESCRIPTION
产品特点
高测量精度
非接触式测量
可选择2D或3D测量
适用于近似任意大小的可测量面积
适用于高弯曲表面，如X射线反射镜（多层膜反射镜）、硅晶圆等
通过可以检测更高的弯曲度
测量原理
垂直于样品表面的入射光，经过表面反射后形成的反射角，会因表面轮廓的不同而产生变化。FLATSCAN正是依据测量点之间反射角的变化，通过软件重新计算并构建了样品表面轮廓，实现了全自动高精度的测量。
FLATSCAN适用于任意种类反射表面的平整度、波纹度和弯曲（弓/翘曲）的非接触式测量，如硅晶圆、镜面、X射线反射镜（多层膜反射镜/Goebel镜）、金属表面、抛光的聚合物等等。
高精度，任意测量面积 FLATSCAN能够提供很高的测量精度，其测量系统的分辨率为0.1arcsec，测量精度1arcsec，在200mm测量范围内的可重复性在100nm以内，完全满足厂家、质检部门的需求。
另外，采用的测量原理还具备一个特点，即测量面积的无关性。因此，对于标准测量面直径（200mm），几乎可以任意扩展，而且对测量精度毫无影响。
更大的测量范围，更高的工作距离 测量范围是指一次扫描所能测量的最大箭头高度（或者最小曲率半径）。FLATSCAN拥有极大的测量范围，这是同类测量产品（如条纹激光干涉仪）无法达到的。
FLATSCAN不仅适用于检测平面镜，对于较大曲率的反射平面，如晶圆、X射线反射镜、抛光过的塑料制品等任意种类的反射表面都具有很好的测量效果。而且，所采用的光学测量原理与工作高度无关。因此，我们制定出更高工作距离的仪器，以适应使用者的不同需求。
自由选择2D或3D测量 根据设备类型，用户可以选择单行扫描（2D）或全方位3D测量。操作软件能提供多种功能，用于测量结果的图形和数字评估，如三维图、剖面图、测量记录等等。
薄膜应力 对于薄膜、单层或者多层镀膜的应力，软件主要依据Fowkes的理论，通过检测镀膜前后，基板曲率半径的变化量计算得到。比如在半导体行业或者其他应用领域，当反射表面被加工处理后（镀膜或者去镀膜），操作人员能够利用FLATSCAN快速地对晶圆薄膜应力进行检测。
