四点奈米探针四点奈米探针

特色與效益 规格
XY 范围 
粗定位
 ±3 mm in ±150 nm steps
细定位
≤1 μm in 10 nm* steps
Z 范围
粗定位
±1.5mm in 150 nm steps
细定位
≤1 μm in 10 nm* steps
样品尺寸
10mm × 10mm × 1mm
重量
≤1000g


 
 
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DESCRIPTION

特点:

此系统安装于SEM平台,在次微米区域内量测四点电性
四组独立探针都可3D控制