产品叙述 水平与垂直流整合,镀膜均匀度高 _体积小且规范 _静置功能,提高样品覆盖率 _触控式介面与自动化程序 _即时监控流程 _内建食谱与使用者自建最广泛的材料使用 •3 organometallic sources •2 oxidant/reductant sources •Built-in recipes, Al2O3, Pt, Ru, HfO2, TiO2, ZrO2, ZnO,Al:ZnO