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非接触式-片电阻和膜厚测量仪 (Inline monitoring)非接触式-片电阻和膜厚测量仪 (Inline monitoring)
特色與效益在线片电阻测量：
- 无接触式
- 实时性
- 高采样率（每秒1-300个样本/通道及更多）
- 大测量间隙（1-60毫米间隙）
- 1-99个测量通道
- 真空内和真空外
- 紧凑型硬件
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DESCRIPTION
EddyCus® TF Inline系列是特别设计的测量系统，用于在连续涂覆、导电薄膜、金属薄膜中实时测量薄膜厚度和片电阻值。该系列仪器采用单点（多点）非接触方法，适用于实时测量导电材料的厚度，如TCO、金属箔、金属片等。
在线片电阻测量：
- 无接触式
- 实时性
- 高采样率（每秒1-300个样本/通道及更多）
- 大测量间隙（1-60毫米间隙）
- 1-99个测量通道
- 真空内和真空外
- 紧凑型硬件
