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二氧化硅奈米悬浮液二氧化硅奈米悬浮液
特色與效益 NanoSilica™ 微粒子标准溶液是由MSP Corporation制作的高度均匀尺寸SiO2微粒子浓缩水溶液，微粒子尺寸从18nm到200nm都可选择，是市面上最理想、高质量的校正标准，适用于最新一代的晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统。最先进的半导体检查技术已经发展到小于30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统的校正，但新一代的检查系统使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能检查小于20nm的污染或缺陷，当UV光重复打在PSL球形化粒子上，将影响到PSL球形化粒子的质量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下拥有稳定的质量，因此SiO2微粒子是最佳的替代产品。
DESCRIPTION
产品叙述
NanoSilica™ 微粒子标准溶液是由MSP Corporation制作的高度均匀尺寸SiO2微粒子浓缩水溶液，微粒子尺寸从18nm到200nm都可选择，是市面上最理想、高质量的校正标准，适用于最新一代的晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统。
最先进的半导体检查技术已经发展到小于30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圆表面污染/缺陷检查系统及光罩检查系统的校正，但新一代的检查系统使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能检查小于20nm的污染或缺陷，当UV光重复打在PSL球形化粒子上，将影响到PSL球形化粒子的质量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下拥有稳定的质量，因此SiO2微粒子是最佳的替代产品。
NanoSilica™ 微粒子标准溶液是使用有专利的SiO2合成技术，可以做到如PSL球形化粒子一样的尺寸分布，从目前最小的微粒子尺寸来看，NanoSilica™ 微粒子标准溶液是尺寸最均匀，适合做尺寸大小峰值的量测的工具。
NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子标准溶液是MSP Corporation透过National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到标准单位的产品，加上ISO 9000与SEMI的认证，让良率提升及表面检查和缺陷评估有所依据。
NanoSilica™ 微粒子标准溶液使用15-mL滴定，让使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷标皆标示产品编号、生产编号、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高宽及有效期限，而且提供NIST-traceable证明书与Material Safety Data Sheet (MSDS)说明书。
产品优势
- 尺寸大小分布均匀
- NIST traceability 的尺寸大小
- DUV及EUV的照射下拥有稳定的质量
- 高浓缩度微粒子悬浮溶液
- 易于微粒子撒粒系统、晶圆表面污染/缺陷检查系统或各类分析仪器侦测与量测尺寸峰值
- 可避免平均尺寸与尺寸峰值的差异性
- 适合气胶产生设备使用
- 提供耐久校正标准给先进的检测设备使用
- 省钱而且耗用量少
