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微粒子撒粒系统微粒子撒粒系统
特色與效益 MSP Corporation是美国明尼苏达州专门发展先进的微粒子撒粒技术的公司，协助晶圆表面污染/缺陷检查系统侦测强度的分析，如KLA-Tencor, Hitachi, Topcon...等销售到世界各地的最新微粒子侦测尺寸到10nm的表面检查系统。由于不同制造商的PSL球形粒子有尺寸上的差异，尤其是尺寸小于80nm和尺寸分布较宽的50nm以下的PSL球形粒子，在MSP新的Nano-Particle Technology (NPT)的协助下，可以产生出NIST traceability而且符合SEMI M52标准的PSL球形粒子(尺寸最小可达10nm)。从已经购买2300系列产品的使用者经验知道，量测分析与清洗方面的应用有大幅度的提升。MSP现在除了提供手动式机型外，也提供自动化机型来因应现在最新的20nm以下的量测与清洗需求。
DESCRIPTION
晶圆微粒子撒粒系统
奈米级粒子撒粒技术可将最小10nm至最大2um的PSL球形粒子与Process微粒子均匀地撒到晶圆/光罩的表面
MSP Corporation是美国明尼苏达州专门发展先进的微粒子撒粒技术的公司，协助晶圆表面污染/缺陷检查系统侦测强度的分析，如KLA-Tencor, Hitachi, Topcon...等销售到世界各地的最新微粒子侦测尺寸到10nm的表面检查系统。由于不同制造商的PSL球形粒子有尺寸上的差异，尤其是尺寸小于80nm和尺寸分布较宽的50nm以下的PSL球形粒子，在MSP新的Nano-Particle Technology (NPT)的协助下，可以产生出NIST traceability而且符合SEMI M52标准的PSL球形粒子(尺寸最小可达10nm)。从已经购买2300系列产品的使用者经验知道，量测分析与清洗方面的应用有大幅度的提升。MSP现在除了提供手动式机型外，也提供自动化机型来因应现在最新的20nm以下的量测与清洗需求。
MSP2300-Series Particle Deposition Systems (PDS™) 是使用全球最新撒粒技术的PSL/Process微粒子撒粒系统，可协助用户随时制作任何尺寸Polystyrene latex (PSL)球形化粒子标准片，提供晶圆表面污染/缺陷检查系统校正使用，如KLA-Tencor, Applied Materials, TopCon, Hitachi ...等。
2300G3 系统提供以下功能:
•最小洒粒尺寸达 10nm
•单次撒粒设定: 最多16种不同PSL球形尺寸及最多50个不同大小Spots
•微粒子尺寸精度: ±1%(所撒微粒子尺寸 >50nm) ; ±0.5nm (所撒微粒子尺寸 <50nm)
•撒粒方式: Full deposition and pattern deposition (spot, arc, and ring)
特性:
•Differential mobility analyzer (DMA) technology 提供准确的微粒子尺寸辨别与分类
•全自动 NIST traceable 挍正
•参数设定控制接口
•制程微粒子(Si, SiO2, Al2O3, TiO2, Si3N4, Ti, W, Ta, Cu, etc.) 的撒粒效果与PSL球形化粒子相当
•2300G3M 是手动放晶圆的机型。
