四点纳米探针 for SEM四点纳米探针

規格:
规格:
XY范围 粗定位:±3毫米,步长为±150纳米
精细定位:≤1微米,步长为10纳米*
Z范围
粗定位:±1.5毫米,步长为150纳米
精细定位:≤1微米,步长为10纳米*
样品尺寸:10毫米 × 10毫米 × 1毫米
重量:≤1000克

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DESCRIPTION

特点:
该系统安装在SEM平台上,在亚微米区域内测量四点电性
四组独立的探针都可以进行三维控制