原子沉積技術儀AT-410

規格:
產品敘述
水平與垂直流整合,鍍膜均勻度高
_ 體積小且低成本
_ 靜置功能,提高樣品覆蓋率
_ 觸控式介面與自動化程序
_ 即時監控流程
_ 內建recipe與使用者自建最廣泛的材料使用
•3 organometallic sources
•2 oxidant/reductant sources
•Built-in recipes, Al2O3, Pt,
Ru, HfO2, TiO2, ZrO2, ZnO,Al:ZnO

聯繫窗口: sales@scientek-co.com

DESCRIPTION

產品敘述
水平與垂直流整合,鍍膜均勻度高
_ 體積小且低成本
_ 靜置功能,提高樣品覆蓋率
_ 觸控式介面與自動化程序
_ 即時監控流程
_ 內建recipe與使用者自建最廣泛的材料使用
•3 organometallic sources
•2 oxidant/reductant sources
•Built-in recipes, Al2O3, Pt,
Ru, HfO2, TiO2, ZrO2, ZnO,Al:ZnO