ข้อมูลผลิตภัณฑ์ / PRODUCTS / การวัดมุมการสัมผัสแบบหลายฟังก์ชัน, พลังงานผิวและเครื่องมือวัดแรงตึงผิว FLATSCAN
การวัดมุมการสัมผัสแบบหลายฟังก์ชัน, พลังงานผิวและเครื่องมือวัดแรงตึงผิว FLATSCAN การวัดมุมการสัมผัสแบบหลายฟังก์ชัน, พลังงานผิวและเครื่องมือวัดแรงตึงผิว FLATSCAN
specification：
การวัดแบบออโต้ที่ไม่ต้องสัมผัสสำหรับการวัด 2D หรือ 3D ของพื้นผิวที่สะท้อนทั้งหมด เช่น ซิลิโคนวงกลม (wafer) เผาะแก้ว ผิวโลหะ ฯลฯ รวมถึงความโค้ง ความงอ ลักษณะผิวและระดับราบ และคำนวณความตึงฉนวนของฟิล์มผ่านซอฟต์แวร์
DESCRIPTION
คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์ความแม่นยำในการวัดสูง
การวัดแบบไม่สัมผัส
สามารถเลือกวัด 2D หรือ 3D ได้
สามารถวัดพื้นที่ที่เป็นไปได้ของขนาดใกล้เคียงกัน
เหมาะสำหรับพื้นผิวที่โค้งมาก เช่น กระจกเจียริยางสะท้อนแสงเอ็กซ์ (multilayer mirror) และวางซิลิโคน
หลักการทำงานในการวัด แสงที่ตกลงมาในแนวตั้งกับผิวของตัวอย่าง จะเปลี่ยนแปลงตามมุมการสะท้อนจากผิวภายนอก FLATSCAN นำข้อมูลของมุมการสะท้อนระหว่างจุดที่วัดมาคำนวณใหม่ผ่านซอฟต์แวร์และสร้างรูปร่างของผิวตัวอย่างอัตโนมัติที่มีความแม่นยำสูง
FLATSCAN เหมาะสำหรับการวัดแบบไม่สัมผัสความราบ ความคลื่นและความโค้ง (เบิ้ง/ก้วน) บนพื้นผิวที่สะท้อนใด ๆ เช่น ซิลิโคนวงกลม เนื้อแสง กระจกสะท้อนเอ็กซ์ (เบิ้งแบบหลายชั้น / กระจก Goebel) พื้นผิวโลหะ พอลิชชั่นที่เจียรว่างฉนวน ฯลฯ
ความแม่นยำสูง พื้นที่วัดเป็นไปได้อย่างไม่จำกัด FLATSCAN สามารถให้ความแม่นยำสูงมาก โดยมีความละเอียดของระบบการวัดอยู่ที่ 0.1 อาร์กวินดาวร์ความแม่นยำของการวัดอยู่ที่ 1 อาร์กวินดาวร์ความซ้ำซ้อนของการวัดสำหรับการวัดขนาด 200 มม. อยู่ในช่วงน้อยกว่าหรือเท่ากับ 100 นาโนเมตร ที่สอดคล้องกับความต้องการของผู้ผลิตและส่วนกำกับการทดสอบคุณภาพ
นอกจากนี้ หลักการทำงานในการวัดยังมีคุณสมบัติหนึ่งที่เป็นเอกลักษณ์อีกด้วย คือ ความไม่เกี่ยวข้องกับพื้นที่ที่วัด ดังนั้นสำหรับเส้นผ่าศูนย์กลางของพื้นที่วัดมาตรฐาน (เส้นผ่านศูนย์กลางของ 200 มม.) สามารถขยายได้เกือบไม่จำกัด และไม่มีผลต่อความแม่นยำของการวัดเลย
ขอบเขตการวัดที่ใหญ่ขึ้น ระยะทางการทำงานที่ยาวขึ้น ขอบเขตการวัดหมายถึงความสูงของลูกศรที่สามารถวัดได้ในการสแกนครั้งเดียว (หรือรัศมีของรัศมีการงอ) FLATSCAN มีขอบเขตการวัดที่ใหญ่มาก ซึ่งเป็นสิ่งที่ผลิตภัณฑ์ในกลุ่มเดียวกัน (เช่นเลเซอร์เส้นริ้ว) ไม่สามารถทำได้
FLATSCAN ไม่เพียงช่วยในการตรวจสอบกระจกราบเท่านั้น แต่ยังมีประสิทธิภาพในการวัดพื้นผิวที่มีรัศมีโค้งใหญ่กว่า เช่น วงกลมซิลิโคน เกรดกระจกสะท้อนเอ็กซ์ ผลิตภัณฑ์พลาสติกที่เจียรแล้ว ฯลฯ และหลักการที่ใช้ในการวัดด้วยแสงมีความเกี่ยวข้องกับระยะทางการทำงาน ดังนั้นเราได้พัฒนาอุปกรณ์ที่มีระยะทางการทำงานยาวขึ้นเพื่อให้เหมาะสมกับความต้องการของผู้ใช้งานที่แตกต่างกัน
เลือกวัด 2D หรือ 3D ได้ตามต้องการ ผู้ใช้งานสามารถเลือกใช้การสแกนแบบเดี่ยว (2D) หรือการวัดสามมิติทั้งหมด (3D) ตามประเภทของอุปกรณ์ที่ใช้ ซอฟต์แวร์การทำงานมีความสามารถหลากหลายในการแสดงผลและประเมินค่าต่าง ๆ ของผลวัด เช่น ภาพสามมิติ ภาพตัดเฉพาะ บันทึกการวัด เป็นต้น
ความตึงฉนวนของฟิล์ม สำหรับความตึงฉนวนของฟิล์มเล็ก ๆ หรือฟิล์มที่มีชั้นเดียวหรือหลายชั้น ซอฟต์แวร์ใช้ทฤษฎีของ Fowkes โดยคำนวณจากการวัดความเปลี่ยนแปลงของรัศมีโค้งฐานหลังจากเคลือบฟิล์ม ในอุตสาหกรรมสำหรับวงจรอิเล็กทรอนิกส์หรือในอุตสาหกรรมอื่น ๆ ผู้ใช้งานสามารถใช้ FLATSCAN เพื่อตรวจสอบความตึงฉนวนของฟิล์มบนวงกลมเช่นซิลิโคนได้อย่างรวดเร็ว
