ข้อมูลผลิตภัณฑ์ / PRODUCTS /มาตรฐานการสอบเทียบขั้นตอนของผิดปกติบนพื้นผิวเฟืองและแผ่นฟอโตมาสก์

DESCRIPTION

ความแม่นยำและความสามารถในการตรวจวัดอย่างแน่นอนและการติดตาม
เทคโนโลยี Differential Mobility Analyzer (DMA) สามารถควบคุมโหมด (จุดสูงสุด) และความแปรปรวนในเส้นผ่านศูนย์กลางของอนุภาคที่ถูกสะสมได้อย่างแม่นยำ DMA ถูกสอดคล้องกับ Sitraceability โดยใช้วัสดุอ้างอิงขนาดอนุภาคที่ดีที่สุดที่มีอยู่ เช่น PSL spheres จาก NIST การปรับแต่งจะตรวจสอบอย่างสม่ำเสมอในระยะเวลาสัปดาห์ละครั้ง

ความแม่นยำและความซ้ำซ้อน
ขนาดอนุภาค (10nm ถึง 20µm) และจำนวน (400 ถึง >100,000 อนุภาคต่อการสะสม) มีความซ้ำซ้อนได้อย่างมากจากฐานรากถึงฐานราก ขนาดของจุด (โดยทั่วไปอยู่ระหว่าง 10-30 มิลลิเมตร) และตำแหน่งของจุดเป็นคงที่จากการสะสมไปยังการสะสม (สามารถปรับได้ด้วยความแม่นยำซับมิลลิเมตร)

รอบการเรียนรู้ที่เร็วขึ้น
MSP เป็นผู้นำในอุตสาหกรรมด้านความเร็วในการประมวลผลพื้นฐาน ยิ่งเร็วขึ้น รอบการเรียนรู้ของคุณก็ยิ่งเร็ว และผลิตภัณฑ์ของคุณก็สามารถพัฒนาได้อย่างรวดเร็ว

การรับรองคุณภาพและการควบคุมคุณภาพ
วาฟเฟอร์ขนาด 200 มม. และ 300 มม. สามารถตรวจสอบด้วยระบบสแกนผิวพื้นฐานภายในบริษัท (SSIS) สำหรับฟอโตมาสค์ (เรติเคิล) และพื้นฐานอื่น ๆ MSP จะนำอนุภาคมาสะสมบนวาฟเฟอร์เพื่อตรวจสอบการสะสมด้วย SSIS เพื่อรับรองกระบวนการ ทุกฐานรับการจัดการอย่างรอบคอบและแพคเกจด้วยการบรรจุภัณฑ์สามชั้นล้อมละอุปกรณ์เพื่อป้องกันการปนเปื้อนในระหว่างการขนส่ง

การปรับแต่ง
MSP จะให้การเสนอราคาและจะให้เบื้องต้นสำหรับมาตรฐานตามความต้องการของคุณสำหรับขนาดและส่วนประกอบของอนุภาค จำนวนการสะสม และประเภทแบบแผนการสะสมขนาดและตำแหน่งบนฐานที่คุณเลือก มีรูปแบบสปอต อาร์ก ริง และเตียง (Blanket) ที่มีอยู่ มีมาตรฐานขนาดมากกว่า 100 รูปแบบ (10nm ถึง 20µm) และมีวัสดุอนุภาค 14 ชนิดที่มีให้เลือก