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原子沉積技術儀 AT-410原子沉積技術儀 AT-410
特色與效益 水平與垂直流整合，鍍膜均勻度高_ 體積小且低成本
_ 靜置功能，提高樣品覆蓋率
_ 觸控式介面與自動化程序
_ 即時監控流程
_ 內建recipe與使用者自建最廣泛的材料使用
•3 organometallic sources
•2 oxidant/reductant sources
•Built-in recipes, Al2O3, Pt,
Ru, HfO2, TiO2, ZrO2, ZnO,Al:ZnO
DESCRIPTION
產品敘述
水平與垂直流整合，鍍膜均勻度高
_ 體積小且低成本
_ 靜置功能，提高樣品覆蓋率
_ 觸控式介面與自動化程序
_ 即時監控流程
_ 內建recipe與使用者自建最廣泛的材料使用
•3 organometallic sources
•2 oxidant/reductant sources
•Built-in recipes, Al2O3, Pt,
Ru, HfO2, TiO2, ZrO2, ZnO,Al:ZnO
