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System 100-プラズマエッチングおよび堆積装置
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System 133-300mm 大規模プラズマエッチングおよび堆積装置
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プラズマ増強化学気相成長システム (PECVD）
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プラズマ増強化学気相成長システム PP1000 PECVD
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物理蒸着装置 PVD
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原子層堆積システム FlexAL ALD
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