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フォーポイント・ナノプローブフォーポイント・ナノプローブ
Features and benefits仕様:
XY範囲
グロスポジショニング ±150 nmの±3 mmステップ
ファインポジショニング
10 nmステップで1 μm以下
Z範囲
グロスポジショニング
150 nmステップで±1.5 mm
ファインポジショニング
10 nmステップで1 μm以下
サンプルサイズ
10 mm × 10 mm × 1 mm
重量
1000 g以下
Contact window：sales@scientek-co.com
DESCRIPTION
特徴:
このシステムはSEMプラットフォームに取り付けられ、サブマイクロメートル領域での四点電気特性測定を行います。
4つの独立したプローブを3D制御できます。
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メールアドレス：sales@scientek-co.com
お問い合わせ：こちら
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