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ナノシリカサスペンション ナノシリカサスペンション
Features and benefits MSPコーポレーションのNanoSilica™サイズ基準は、非常に均一なサイズ分布を持つSiO2粒子の濃縮水性懸濁液です。 これらの粒子サイズ基準は、現在15〜200 nmの名目サイズで利用可能であり、次世代のウェハーやフォトマスク検査システムの高品質なキャリブレーション基準の製造に最適です。 MSPのModel 2300NPTまたはModel 2300G3を粒子堆積ツールとして使用することが最も良い結果を提供しますが、MSPの旧モデルや他社のツールでもNanoSilicaサイズ基準との組み合わせはうまく機能します。
DESCRIPTION
MSPコーポレーションのNanoSilica™サイズ基準は、非常に均一なサイズ分布を持つSiO2粒子の濃縮水性懸濁液です。 これらの粒子サイズ基準は、現在15〜200 nmの名目サイズで利用可能であり、次世代のウェハーやフォトマスク検査システムの高品質なキャリブレーション基準の製造に最適です。 MSPのModel 2300NPTまたはModel 2300G3を粒子堆積ツールとして使用することが最も良い結果を提供しますが、MSPの旧モデルや他社のツールでもNanoSilicaサイズ基準との組み合わせはうまく機能します。
特徴：
非常に均一なサイズ分布 特許取得済みのSiO2合成プロセスを使用して開発されたNanoSilicaサイズ基準は、市販のPSLスフィアよりもより狭いサイズ分布を持っています。
SIトレーサビリティで測定されたピーク直径 ISO 9000規格およびSEMIガイドラインに準拠した検査および欠陥レビュー手法のトレーサビリティを確立することで、収率向上およびメトロロジーグループが実現します。
強いDUV放射線に耐える安定性 MSPのSiO2粒子は、サイズが減少する可能性のあるPSLスフィアとは異なり、DUV放射線に曝されても劣化しません。
使いやすさ NanoSilica粒子懸濁液は、適切な濃度で懸濁液を混ぜる際の便利さのために、ドロッパーチップボトルで提供されています。
高い粒子濃度 一部のアプリケーションでは高い粒子濃度が必要です。MSPの粒子濃度は業界で最も高いものの一つです。
利点：
モーダル（ピーク）直径を容易に識別できる
平均直径とピーク直径の差による不一致を回避する
比較的高いまたは低い効率を持つエアロゾル生成装置に適した希釈懸濁液を準備する
最新の検査ツールのための長持ちするキャリブレーション基準を作成する
材料を少なく消費し、費用を節約する
キャリブレーションおよびトレーサビリティ証明書、および取り扱いおよび廃棄物処理手順が記載された安全データシート（SDS）が付属しています。
メールアドレス：sales@scientek-co.com
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