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ナノシリカサスペンション ナノシリカサスペンション
Specification：
製品のメリット：
- サイズの均一な分布
- NISTトレーサビリティを持つサイズ
- DUVおよびEUVの照射下での安定した品質
- 高濃度の微粒子懸濁液
製品の利点：
- 微粒子の散布システム、ウェハ表面の汚染/欠陥検査システム、または各種分析機器でサイズピークの検出と測定が容易です。
- 平均サイズとサイズピークの違いを回避することができます。
- エアロゾル生成装置に適しています。
- 最新の検査装置に耐久性のある校正基準を提供します。
- 節約できて消費量が少ないです。
Contact window： sales@scientek-co.com
DESCRIPTION
NanoSilica™ マイクロスフィア標準液は、MSP Corporationによって製造された高度に均一なサイズのSiO2マイクロスフィア濃縮水溶液で、マイクロスフィアのサイズは18nmから200nmまで選択できます。これは市場で最も理想的で高品質なキャリブレーション標準であり、最新世代のウェハ表面の汚染/欠陥検査システムやフォトマスク検査システムに適用されます。最先端の半導体検査技術はすでに30nm未満まで進化しています。従来、ウェハ表面の汚染/欠陥検査システムやフォトマスク検査システムのキャリブレーションにはポリスチレンラテックス（PSL）球形化粒子が使用されていましたが、新世代の検査システムでは、20nm未満の汚染や欠陥を検出するにはDeep ultraviolet (DUV)またはExtreme ultraviolet (EUV)が必要です。UV光がPSL球形化粒子に繰り返し照射されると、PSL球形化粒子の品質に影響を及ぼします。SiO2マイクロスフィアはDUVおよびEUVの照射下で安定した品質を持っているため、最適な代替品となります。
NanoSilica™ マイクロスフィア標準液は、特許取得済みのSiO2合成技術を使用して、PSL球形化粒子と同様のサイズ分布を実現しています。現在最小のマイクロスフィアサイズでは、NanoSilica™ マイクロスフィア標準液は最も均一なサイズ分布であり、サイズピークの測定に適したツールです。
NISTトレーサビリティ NanoSilica™ マイクロスフィア標準液は、MSP CorporationがNational Institute of Standards and Technology (NIST)によってトレーサビリティを持つ標準単位の製品として提供されており、ISO 9000およびSEMIの認証を取得しています。これにより、収率の向上、表面検査、欠陥評価がより信頼性を持って行われます。
NanoSilica™ マイクロスフィア標準液は15mLの滴定法を使用しており、操作がより便利です。各液体ボトルには製品番号、生産番号、マイクロスフィアサイズのピーク値、サイズ分布の半高幅、有効期限がラベルされており、NISTトレーサビリティの証明書と物質安全データシート（MSDS）が提供されます。
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お問い合わせ：こちら
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